国家标准项目《钼氧化物靶材》由 TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC3（全国有色金属标准化技术委员会稀有金属分会）执行 ，主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位 金堆城钼业股份有限公司 、福建阿石创新材料股份有限公司 、宁波江丰电子材料股份有限公司 。

MoO3-99.9%、MoO2-99.9%、MoOx（x=2-3）-99.9%三个类别的靶材

范围：本标准规定了 钼的氧化物靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、贮存和运输、质量证明书及订货单（或合同）内容。 本标准适用于以钼的氧化物粉为原料粉末冶金法制备的钼的氧化物坯料，主要用于显示器导体带抗反射层、触摸屏抗反射层以及钙钛矿电池空穴传输层等领域。 主要技术内容： （1）分类产品按照钼的氧化物的主成分氧钼之比分为MoO3-99.9%、MoO2-99.9%、MoOx（x=2-3）-99.9%三个类别的靶材。 按结构形式分为单体和复合两种。 产品背板为铜及铜合金等冷却性较好的材料。 （2）产品规格及允许偏差应符合表1规定。 表1 形状 外形尺寸 圆形 直径/mm 直径允许偏差/mm 厚度范围/mm 厚度允许偏差/mm 10~200 ±1 2～5 ±0.2 ＞200 ±2 方形 长、宽/mm 允许偏差/mm ＞5～20 ±0.4 10~200 ±1 ＞200 ±2 ＞20 ±0.5 （3）产品的化学成分应符合表3要求。 表3 （质量分数，%） 化学成分 MoO3-999 MoO2-999 MoOx-999 MoOx，不小于 99.9 99.9 99.9 杂质， 不大于， Cu 0.00010 0.0010 0.0010 K 0.0100 0.0150 0.0150 Fe 0.0040 0.0050 0.0050 W 0.0150 0.0150 0.0150 S 0.0050 0.0020 0.0020 Pb 0.0005 0.0005 0.0005 Cr 0.0010 0.0030 0.0030 Ni 0.0010 0.0030 0.0030 Cd 0.0005 0.0005 0.0005 C 0.0100 0.0100 0.0100 Hg 0.0001 0.0001 0.0001 注：MoOx含量按杂质减量法计算 （4）产品的不平度应符合表2的规定。 表2 板材厚度/mm 不平度，不大于/% 2～5 5 ＞5～20 3 ＞20 2 对不平度有特殊要求的，由供需双方协商确定。 （5）产品供货状态为粉末冶金态。 （6）产品密度根据化学成分不同MoO3-999≥4.5g/cm3、MoO2-999≥5.8g/cm3、MoOx-999≥4.5g/cm3，需方有特殊要求时，供需双方协商确定。 （7）表面质量 钼的氧化物靶材的表面粗糙度Ra应不大于3.2μm。产品目测表面应光滑，无裂纹，无脏物，无局部凹坑、擦伤和划道。 （8）焊接质量 贴合率不低于95%，单个未焊接面积不超过总面积2%。