国家标准项目《高速双频激光干涉仪》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 哈尔滨工业大学 、中国计量科学研究院 、中国电子技术标准化研究院 、黑龙江省计量检定测试研究院 、深圳领聚科技有限公司 、上海拍频光电科技有限公司 。

标准涉及的高速双频激光干涉仪产品，主要型号有： 1)中国深圳领聚科技有限公司，H系列 2)中国上海拍频光电科技有限公司，TDI系列 3)美国Keysight公司，5527系列 4)美国Zygo公司，ZMI系列

范围：本标准适用于半导体行业中最大测量速度不低于300mm/s、测量数据更新率不低于10kHz的高速双频激光干涉仪。主要技术内容是规定高速双频激光干涉仪的技术要求、检验规则及标志、包装、运输和贮存要求，描述了相应的检测方法。 主要技术内容：按照《GB/T 1.1-2020标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的要求，制定《高速双频激光干涉仪技术要求》，在内容和格式上与文件要求保持一致。《高速双频激光干涉仪技术要求》的主要内容包括：封面、目次、前言、引言、范围、规范性引用文件、术语和定义、工作原理和结构、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装与贮存。

《λ/1024双频激光干涉仪研发及系列产品产业化》（国家02专项子任务）、《掩模版滑移抑制与实时测量技术研究》（国家02专项子任务）、《面向光刻机的高速超精密动态校准技术研究与应用》（国家重点研发计划NQI专项）、《微探头传感器式激光干涉仪》（国家重点研发计划仪器专项）、《皮米级多轴超精密激光测量方法、关键技术与比对测试》（国家自然科学基金国际合作项目，重点类项目）