国家标准计划《高速双频激光干涉仪》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 哈尔滨工业大学 、中国计量科学研究院 、中国电子技术标准化研究院 、黑龙江省计量检定测试研究院 、深圳领聚科技有限公司 、上海拍频光电科技有限公司 。

标准涉及的高速双频激光干涉仪产品，主要型号有： 1)中国深圳领聚科技有限公司，H系列 2)中国上海拍频光电科技有限公司，TDI系列 3)美国Keysight公司，5527系列 4)美国Zygo公司，ZMI系列

制定高速双频激光干涉仪国家标准，其核心目的在于解决我国光刻机等高端装备领域长期存在的高速双频激光干涉仪技术基础薄弱问题。

通过建立一套统一、科学、权威且可追溯的性能评价基准，彻底打破因技术语言不一、评价体系缺失所导致的内外部壁垒，从而强力牵引国产高速双频激光干涉仪自主技术创新、深度赋能产业链协同，为我国光刻机等高端装备的全面升级与自主可控提供不可或缺的底层支撑。

高速双频激光干涉仪，是直接制约并定义我国光刻机等高端装备性能天花板的“卡脖子”核心测量仪器。

在光刻机等装备中，该仪器并非独立的外围设备，而是深度嵌入装备运动控制闭环的“神经”与“眼睛”，它通过对工作台、物镜系统等关键运动单元进行纳米乃至亚纳米级精度、数米每秒高测速下的实时、多自由度位置测量，为超精密定位与同步控制提供唯一的直接反馈。

其测量精度、速度与稳定性，直接且唯一地决定了光刻机的套刻精度、产线吞吐量以及长期工作可靠性，是装备能否实现设计指标的终极判据。

然而，该仪器及其核心部件（如双频激光器、多轴激光干涉镜组、轴卡）长期被列入美国《商业管制清单》（CCL）及《瓦森纳协定》的严格管控与禁运范围，是我国在关键供应链上受制于人、亟待攻克并实现从原理到工艺完全自主可控的战略性高端测量装备。

由于长期缺乏相应的国家标准体系，我国高速双频激光干涉仪的自主化研发、工程化量产、一致性质量控制和规模化商业应用正面临严峻的系统性瓶颈。

当前，我国在该领域已度过原理样机阶段，正处于从实验室技术突破迈向规模化制造与高端装备集成应用的关键跃升期。

然而，一个根本性缺陷在于，我国一直未能建立涵盖仪器整机及其一系列关键可互换单元（包括可独立采购、验证与集成的双频激光器、多轴干涉镜组、轴卡、空气折射率实时补偿单元等）性能评价的国家标准体系。

这种“无标可依”的现状，导致了一个混乱且低效的产业生态：仪器研发单位、仪器单元生产商、仪器整机生产商与仪器最终应用单位（如光刻机生产企业）之间，对产品性能的技术定义、测试环境、验证方法、合格判据均不统一。

其直接后果是测试数据无法跨单位、跨环节互认，性能优劣沦为“纸上谈兵”，技术迭代缺乏客观、可比较的数据反馈，供需双方在验收时陷入“公说公有理，婆说婆有理”的困境。

这种状况不仅极大增加了全产业链的研发成本、周期与协作摩擦，更从基础规则层面削弱了技术进步的合力，成为制约我国光刻机等高端装备自主化进程难以绕过的结构性短板。

综上所述，制定高速双频激光干涉仪等系列国家标准，是我国突破高端测量仪器自主化瓶颈、构建高端装备质量基础设施的紧迫需求，是引导技术创新从“无序探索”走向“有序攻关”、规范产业生态从“分散突围”走向“协同作战”的关键制度设计。

这项工作对于保障我国光刻机等高端装备供应链安全、实施制造强国与质量强国战略，具有至关重要的基础性、前瞻性和战略性意义。

范围：本标准适用于半导体行业中最大测量速度不低于300mm/s、测量数据更新率不低于10kHz的高速双频激光干涉仪。主要技术内容是规定高速双频激光干涉仪的技术要求、检验规则及标志、包装、运输和贮存要求，描述了相应的检测方法。 主要技术内容：按照《GB/T 1.1-2020标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的要求，制定《高速双频激光干涉仪技术要求》，在内容和格式上与文件要求保持一致。《高速双频激光干涉仪技术要求》的主要内容包括：封面、目次、前言、引言、范围、规范性引用文件、术语和定义、工作原理和结构、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装与贮存。

《λ/1024双频激光干涉仪研发及系列产品产业化》（国家02专项子任务）、《掩模版滑移抑制与实时测量技术研究》（国家02专项子任务）、《面向光刻机的高速超精密动态校准技术研究与应用》（国家重点研发计划NQI专项）、《微探头传感器式激光干涉仪》（国家重点研发计划仪器专项）、《皮米级多轴超精密激光测量方法、关键技术与比对测试》（国家自然科学基金国际合作项目，重点类项目）