国家标准计划《洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度评估表面洁净度等级》由 TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 吴江市华宇净化设备有限公司 、中国工程物理研究院激光聚变研究中心 、中国标准化协会 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14644-9:2022。

采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度评估表面洁净度等级。