国家标准项目《电子级双氧水》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 晶瑞电子材料股份有限公司 、苏州实验室 、中国电子技术标准化研究院 。
电子级双氧水
本标准规定了电子级双氧水的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于以工业级双氧水为主要原料制备的电子级双氧水。 技术要求涉及外观、色度、纯度、游离酸、阴阳离子含量等指标。