国家标准项目《洁净室及相关受控环境 空气化学污染物浓度监测方法》由 TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子工程设计院股份有限公司 、中国标准化协会 。

本文件服务于微电子、航空航天、核工业、医疗卫生等行业洁净室的空气化学污染物浓度监测。监测对象包括洁净室中影响产品良率和敏感工艺设备性能酸性、碱性、有机物、掺杂物等空气化学污染物。

本文件规定了洁净室及相关受控环境空气化学污染物浓度的监测方案和监测方法。 本文件适用于洁净室及相关受控环境的空气化学污染物浓度的监测。 正文部分包括：范围、规范性引用文件、术语和定义、监测方案、监测方法。