国家标准项目《电子级三甲氧基（五甲基环戊二烯基）钛》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 安徽安德科铭半导体科技股份有限公司 、苏州实验室 、中国电子技术标准化研究院 。

三甲氧基（五甲基环戊二烯基）钛

范围：适用于原子层沉积技术（简称：ALD技术）制备高介电薄膜前驱体的三甲氧基（五甲基环戊二烯基）钛。 主要技术内容：规定了电子级三甲氧基（五甲基环戊二烯基）钛产品的技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存及安全警示的要求。