国家标准《氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 新疆新特新能材料检测中心有限公司 、四川永祥新能源有限公司 、山东中临半导体新材料有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 、江苏中能硅业科技发展有限公司 、江苏鑫华半导体科技股份有限公司 、青海南玻新能源科技有限公司 、国标（北京）检验认证有限公司 、高富高新材料（浙江）有限公司 、松山湖材料实验室 。

主要起草人 邱艳梅 、刘国霞 、李冰清 、李兰兰 、贾琳 、李锦春 、刘红亮 、曹俊英 、王春明 、赵培芝 、李强 、陈彩霞 、钟海炎 、胡伟 。