国家标准《蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 广东中图半导体科技股份有限公司 、徐州美兴光电科技有限公司 、京东方华灿光电股份有限公司 、天通银厦新材料有限公司 、松山湖材料实验室 、南京同溧晶体材料研究院有限公司 。

主要起草人 张能 、米波 、肖桂明 、朱晶 、王子荣 、朱广敏 、康凯 、鲁雅荣 、王新强 、徐军 、袁冶 。