国家标准计划《电子气体 蚀刻用混合气体》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 昊华气体有限公司西南分公司 、大连大特气体有限公司 、浙江理工大学嵊州创新研究院有限公司 、杭州新世纪混合气体有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、中国计量科学研究院 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、液化空气（中国）投资有限公司 、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 。

蚀刻用混合气体是集成电路制造的“工业血液”，是半导体制造核心材料，主要包括氟基、氯基、溴基等系列混合气，广泛应用于集成电路、平板显示、光伏电池等电子工业领域的图形化蚀刻工艺。

当前，全球半导体产业向我国转移趋势明显，但高端蚀刻用混合气体核心技术与标准话语权仍被国外主导，国内产品存在纯度不足、配比误差大、一致性差等问题，制约了下游产业自主可控发展。

随着蚀刻用混合气体市场需求激增，国内中小气体企业纷纷入局，但行业缺乏统一标准约束，导致产品质量参差不齐。

部分企业为降低成本，采用简陋提纯工艺和混合设备，存在纯度不达标、组分比例波动大、杂质超标等问题，不仅影响下游芯片产品质量，还可能因气体稳定性不足损坏电子高端设备。

为了有效的组织生产、使用和贸易，确保产品质量，增强我国该产品的国际市场竞争力，有必要制定达到国际先进标准水平且符合我国实际情况的电子用蚀刻混合气体国家标准。

制定该标准，对填补电子用蚀刻混合气体国家标准的空白、促进我国电子气体产业和相关产业的可持续发展、减少贸易摩擦均具有重大的意义。

同时，标准的制定与实施将推动我国电子气体产业向高端化、集约化转型，契合国家制造业高端化、智能化、绿色化发展战略，为实现科技自立自强、建设制造强国提供重要支撑。

本文件规定了蚀刻用混合气体的技术要求，描述了相应的试验方法，还规定了制备、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。 本文件适用于以电子大宗气体及电子特种气体为原料制备的蚀刻用混合气体。