国家标准计划《电子气体 扩散用混合气体》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 昊华气体有限公司西南分公司 、大连大特气体有限公司 、杭州新世纪混合气体有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、中国计量科学研究院 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、液化空气（中国）投资有限公司 、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 。

电子扩散作为半导体、光伏等电子工业的核心工艺，其所用混合气体多是由电子特气与大宗气体按特定比例混配而成，适配掺杂、气相沉积等不同扩散工艺需求。

根据应用工艺的不同，电子扩散用混合气体主要分为三大类：掺杂扩散用混合气体、气相沉积扩散用混合气体和刻蚀辅助扩散用混合气体，应用领域涵盖集成电路、显示面板、太阳能电池、LED 制造等行业，并且在微电子制造、薄膜沉积和绝缘等半导体加工用途中的应用不断扩大，从需求结构的变化趋势来看，随着技术进步和产业升级，高端应用领域对电子扩散用混合气体的需求占比不断提升。

目前国内外尚无有关电子用扩散混合气体产品的国际标准、国家标准及行业标准。

先进制程半导体、高效光伏电池、新型显示技术等领域对超高纯度、高精度配比的混合气体需求快速增长，推动了整个市场向高端化、精细化方向发展。

电子用扩散混合气体的应用前景极大地刺激了市场需求，现市场上已有不少国产产品上市，但产品质量参差不齐。

为了有效的组织生产、使用和贸易，确保产品质量，增强我国该产品的国际市场竞争力，有必要制定达到国际先进标准水平且符合我国实际情况的电子用扩散混合气体国家标准。

制定该标准，对填补电子用扩散混合气体国家标准的空白、促进我国电子气体产业和相关产业的可持续发展、减少贸易摩擦均具有重大的意义。

同时，标准的制定与实施将推动我国电子气体产业向高端化、集约化转型，契合国家制造业高端化、智能化、绿色化发展战略，为实现科技自立自强、建设制造强国提供重要支撑。

本文件规定了扩散用混合气体的技术要求，描述了相应的试验方法，还规定了制备、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。 本文件适用于以电子大宗气体及电子特种气体为原料制备的扩散用混合气体。