国家标准项目《电子气体 扩散用混合气体》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 昊华气体有限公司西南分公司 、大连大特气体有限公司 、杭州新世纪混合气体有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、中国计量科学研究院 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、液化空气（中国）投资有限公司 、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 。

本文件规定了扩散用混合气体的技术要求，描述了相应的试验方法，还规定了制备、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。 本文件适用于以电子大宗气体及电子特种气体为原料制备的扩散用混合气体。