国家标准计划《高纯四氯化铪》由 TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC3（全国有色金属标准化技术委员会稀有金属分会）执行 ，主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位 国核维科锆铪有限公司 、国核宝钛锆业股份公司 、广东先导稀材股份有限公司 、厦门恒坤新材料科技股份有限公司 、中核晶环锆业有限公司 、有研资源环境技术研究院（北京）有限公司 。

高纯四氯化铪

1.标准范围 主要用于制备半导体前驱体用高K介电薄膜的高纯四氯化铪。 2.标准主要技术内容 规定了高纯四氯化铪的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单等内容。技术要求中包含高纯四氯化铪的纯度、杂质含量、物理性质等多个方面，旨在确保用于半导体制造的高纯四氯化铪能够满足高精度工艺的要求，保障芯片等半导体产品的质量和性能。 半导体级高纯四氯化铪（HfCl4）中四氯化锆（ZrCl4）应满足不大于0.02%，而常规要求通常在0.1%以下。