国家标准项目《半导体制造设备射频电源输出功率测量方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 、北京航空航天大学 、清华大学 、大连理工大学 、西南交通大学 、西安交通大学 、北京交通大学 。

半导体制造设备射频电源输出功率测量的功率计。

本标准适用于半导体制造装备中射频电源的输出功率测量，光伏、微机电系统等非半导体领域设备中的射频电源的输出功率测量，亦可参照使用。 本标准主要内容包括： 1、射频电源输出功率的测量原理 2、测量装置功率计的结构与系统构成 3、功率计的技术要求 4、功率计实施测量的工作步骤 附录A功率计校准 附录B测量数据记录表