国家标准化指导性技术文件登记项目 - 全国标准信息公共服务平台

国家标准化指导性技术文件登记项目《洁净室及相关受控环境微振动检测方法》由 TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国电子工程设计院股份有限公司。

目录

项目进度

当前登记项目

20260005-Z-469 正在起草

洁净室及相关受控环境微振动检测方法

基础信息

登记号: 20260005-Z-469
制修订: 制定
项目周期: 12个月
登记日期: 2026-01-05

标准类别

方法

国际标准分类号

13.040.35

13 环保、保健和安全

13.040 空气质量

13.040.35 清洁室（无菌室）及相关受控环境

归口单位

全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

执行单位

全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

主管部门

国家标准委

起草单位

中国电子工程设计院股份有限公司

相近标准(计划)

GB/T 47506-2026 洁净室及相关受控环境微振动控制技术要求

20251902-T-469 洁净室及相关受控环境干式洁净室技术要求

20260006-Z-469 洁净室及相关受控环境电子制程环境质效评价

20253287-T-469 洁净室及相关受控环境酸性、碱性空气化学污染检测方法离子色谱法

20260004-Z-469 洁净室及相关受控环境工业机器人应用评估导则

20251852-Z-469 洁净室及相关受控环境第21部分：空气粒子采样技术

洁净室及相关受控环境性能及合理性评价《第1号修改单》

GB/T 25915.3-2024 洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法

20262369-T-469 洁净室及相关受控环境第9部分：按粒子浓度评估表面洁净度等级

20255370-T-469 洁净室及相关受控环境可凝聚有机空气化学污染物检测方法气相色谱-质谱法

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