国家标准项目《金属溅射靶材内部缺陷的检测 水浸式超声波法》由 TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC5（全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会）执行 ，主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位 云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司 、有研亿金新材料有限公司 、贵研先进新材料（上海）有限公司 、云南贵金属实验室有限公司 。

1、适用范围：厚度大于等于2.5mm的金属溅射靶材的靶坯或焊件靶材部分（以下简称“受检件”）的内部缺陷检验。 2、技术内容： 2.1 测试方法：利用水浸式超声纵波脉冲反射技术，确保探头与受检件表面垂直，根据探头接收的回波信号，即A扫描显示中伤波闸门和底波闸门内回波增益的高低，及C扫描显示的底波成像来共同判断受检件内部是否存在缺陷，及缺陷类型、位置和面积。 2.2 缺陷类型识别：内部缺陷包含孔洞、夹杂、分层、裂纹、疏松等。A扫描显示中，靶坯底波闸门内回波增益高度设置在80%-90%（或焊件靶材部分的底波闸门内回波增益高度设置在30%-40%）。C扫描显示中幅值色条从0-100变化分别以黑、蓝、绿、红、黄及其两色之间的渐变色来表示。扫查无缺陷：A扫描显示伤波闸门内无回波，底波闸门内回波高度依然维持在原有水平，C扫描显示的伤波图呈蓝色，C扫显示的底波图呈红色或红黄过渡色。扫查存在缺陷：根据伤波闸门和底波闸门内回波高度，以及C扫描显示的伤波图和底波图颜色变化，识别不同缺陷的类型。 2.3内部缺陷面积：根据C扫描显示的伤波图结果，由计算机自动计算某缺陷点的面积。并与对比试块上已知平底孔的超声成像为参照，准确识别受检件的内部缺陷面积。 2.4 内部缺陷位置：根据C扫描显示的伤波图结果，由计算机自动获取某缺陷点的（X,Y,Z）坐标值。并与对比试块上已知平底孔的超声成像为参照，准确识别受检件的内部缺陷位置。 2.5 靶材内部质量合格的判定：靶面均参与溅射的靶材，整个面扫查无缺陷，判定合格；反之，则不合格。靶面局部参与溅射的靶材，溅射区域要求无缺陷，非溅射区域允许出现缺陷，且该区域的总缺陷占靶材总面积的百分比不超过1%，单个缺陷面积不超过150mm2。满足该要求判定为合格；反之，则不合格。

大规格稀有/稀贵金属靶材制造技术