国家标准计划《洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学污染评估表面洁净度等级》由 TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14644-10:2022。

采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学污染评估表面洁净度等级。

本文件定义了洁净室中有关化合物或化学物质（包括分子、离子、原子、颗粒物）存在情况的表面洁净度分级系统。 本文件适用于洁净室及相关受控环境中所有表面，如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。 注1：本文件仅考虑微粒子的化学性质，未考虑微粒子的物理性质。本文件不包括污染物与表面之间的相互作用。 注2：本文件不涉及污染产生的过程，不涉及与时间有关的影响因素（沉降、沉积、老化等）以及与过程有关的活动（如转移、处理等），也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。 本标准修订的主要内容如下： 1. “等级”（分级、已分类）更改为级别或者评估； 2. 第2条目中删除了ISO 14644-1的相关内容，并且去掉ISO 14644-6； 3. 其他微小修订。