国家标准计划《洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度评估表面洁净度等级》由 TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 吴江市华宇净化设备有限公司 、中国工程物理研究院激光聚变研究中心 、中国标准化协会 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14644-9:2022。

采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度评估表面洁净度等级。

无

本标准修订的主要内容如下： 1. “等级”（分级、已分类）更改为级别或者评估； 2. 第2、3条目中删除了ISO 14644-6的相关内容； 3. 从第3条款中删除了3.8条目； 4. ISO 4287、ISO4288分别被ISO 21920-2、ISO21920-3代替； 5. ISO 16232-2、ISO16232-3、ISO16232-4和ISO16232-5均被ISO 16232替代； 6. 其他微小修订。