国家标准计划《原子层沉积 术语》由 TC57（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 华中科技大学 、中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 8181:2023。

采标中文名称:原子层沉积 术语。