国家标准计划《原子层沉积 术语》由 TC57（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会）归口，TC57SC10（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会气相沉积分会）执行 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 华中科技大学 、中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司 、华中科技大学无锡研究院 。

主要起草人 陈蓉 、刘潇 、单斌 、杨帆 、段海涛 、陈辉 、易娟 、王立成 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 8181:2023。

采标中文名称:原子层沉积 术语。