国家标准计划《太赫兹散射式扫描近场光学显微镜》由 TC103（全国光学和光子学标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 上海理工大学 、电子科技大学 、中国计量科学研究院 、中国科学院微电子研究所 、上海优施诺技术有限公司 、成都觅几科技有限公司 、中国计量大学 、华太极光光电技术有限公司 、太赫兹科技应用（广东）有限公司 、博太赫兹信息科技（武汉）有限公司 、烟台大学 、上海光学仪器研究所 、中国石油天然气股份有限公司西南油气田分公司安全环保与技术监督研究院 、南开大学 、中国科学院上海微系统与信息技术研究所 、首都师范大学 、天津大学 、中国科学院重庆绿色智能技术研究院 、上海谱未科技有限公司 、上海国际旅行卫生保健中心（上海海关口岸门诊部） 、云南电网有限责任公司电力科学研究院 。

主要起草人 彭滟 、朱亦鸣 、庄松林 、胡旻 、邓玉强 、霍树春 、丁铭 、董学谦 、唐福 、方波 、劳力 、李茜 、袁英豪 、吕军鸿 、陈舒 、游冠军 、陈干 、林冬 、李静 、李鹏程 、常胜江 、曹俊诚 、张存林 、张亮亮 、田震 、王化斌 、王承良 、田桢干 、邱方程 、皇剑 。