国家标准项目《电子气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司 、上海市计量测试技术研究院有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、西南化工研究设计院有限公司 。

标准规定了采用电感耦合等离子体质谱法测定气体中微量和痕量组分含量的试验方法，具体内容包括方法原理、试验条件、试剂和材料、仪器设备、采样、试验步骤、试验数据处理、精密度、质量保证与控制以及试验报告等要求。 本文件适用的电子气体种类：氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯、六氟化钨、磷化氢、四氟化碳等气体。 本次修订的主要技术内容如下： ——更改了“范围”一章； ——更改了“规范性引用文件”一章； ——增加了“术语和定义”一章； ——增加了“试验条件”一章； ——更改了“试剂与材料”一章； ——增加了“校准要求”和“计量检定校准”； ——修改了“采样”一章； ——修改了“样品吸收”和“结果计算”； ——增加了“尾气排放与处理”； ——增加了仪器关机的条款； ——增加了“精密度”的要求； ——增加了“质量保证和控制”的要求； ——更改了对“试验报告”的要求。