国家标准计划《石英玻璃氢分子含量试验方法》由 TC447（全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国建筑材料联合会。

主要起草单位 长飞石英技术（武汉）有限公司 。

高纯石英玻璃

完善石英玻璃测试方法标准体系，给出测试石英玻璃中氢分子含量的标准方法，在规范测试方法的同时，对测试时使用的仪器设备和试样的制备提出明确的要求，为工业化的生产实践提供统一的检测基准。

随着信息化时代的到来，我国在诸多领域取得了全面的进步，这其中，半导体行业作为信息技术的基石，不仅关乎计算机、通信、消费电子等领域的发展，还深刻影响着工业自动化、汽车电子、人工智能等新兴领域的变革。

因此，半导体行业产业链关键工艺的全部国产化替代，不仅是推动国家经济社会跨越式发展的关键动力，也是提升国家国际地位、增强竞争力和构建安全保障体系的重要战略布局。

然而，作为半导体芯片生产流程中最关键的工艺步骤，光刻工艺目前仍为制约国内半导体行业发展的“卡脖子”技术。

其中，用于紫外微光刻应用的高纯石英玻璃成为了解决“卡脖子”技术的关键之一。

在紫外领域，由高纯石英玻璃制成的各种光学元件，可以用于微光刻投影曝光装置。

然而，石英玻璃在制造过程中不可避免会产生类似于化学键断裂、过氧缺陷以及缺氧中心等的结构缺陷，这些缺陷在紫外波段有着很强的吸收带，其中有些缺陷在激光诱导下甚至会导致石英玻璃产生密度变化，这些因素均不利于石英玻璃在紫外微光刻技术中的使用。

通过在石英玻璃中渗入氢分子的方式可以有效改善这些问题，而且改善的效果与渗入的氢分子数量有关，过少不能达到最佳的改善效果。

所以，对于石英玻璃中氢分子含量的测量尤为重要，其同时关乎到制造方的生产和使用方的应用。

因此，制定《石英玻璃氢分子含量试验方法》国家标准是十分必要的，这不仅可以为石英玻璃制造方的生产及检测提供指导，也可以为石英玻璃使用方的选型及应用提供参照，从而为整个产业的上下游提供统一的基准和规范，这对推动国内半导体行业持续健康发展有着深远的意义。

本文件规定了石英玻璃氢分子含量试验方法的术语和定义、试验原理、试验仪器、试样要求、试验步骤、数据处理、试验报告等。 本文件适用于石英玻璃氢分子含量的检验。