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国家标准计划《电子级(正丙基环戊二烯基)三(二甲氨基)锆》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 苏州源展材料科技有限公司苏州实验室中国电子技术标准化研究院

目录

基础信息

计划号
20256876-T-469
制修订
制定
项目周期
18个月
下达日期
2025-12-31
公示开始日期
2025-10-23
公示截止日期
2025-11-22
标准类别
产品
国际标准分类号
31.030
31 电子学
31.030 电子技术专用材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

涉及的产品清单

本标准涉及半导体行业DRAM淀积高介电常数薄膜用电子级(正丙基环戊二烯基)三(二甲氨基)锆。

范围和主要技术内容

本标准规定了半导体行业用电子级(正丙基环戊二烯基)三(二甲氨基)锆的技术要求、检测方法、检验规则、包装、标志及随货资料、运输、贮存及安全信息的要求。 本标准规定了产品技术指标、检测方法、检验规则、包装、标志及随货资料、运输、贮存及安全信息

国家级科研专项支撑

电子信息产业质量基础设施体系建设、发展分析及重要标准和可靠性突破