国家标准计划《电子级(正丙基环戊二烯基)三(二甲氨基)锆》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 苏州源展材料科技有限公司 、苏州实验室 、中国电子技术标准化研究院 。
| 31 电子学 |
| 31.030 电子技术专用材料 |
本标准涉及半导体行业DRAM淀积高介电常数薄膜用电子级(正丙基环戊二烯基)三(二甲氨基)锆。
本标准规定了半导体行业用电子级(正丙基环戊二烯基)三(二甲氨基)锆的技术要求、检测方法、检验规则、包装、标志及随货资料、运输、贮存及安全信息的要求。 本标准规定了产品技术指标、检测方法、检验规则、包装、标志及随货资料、运输、贮存及安全信息
电子信息产业质量基础设施体系建设、发展分析及重要标准和可靠性突破