国家标准计划《电子级三（二甲氨基）环戊二烯基锆》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 南大光电半导体有限公司 、苏州实验室 、苏州源展材料科技有限公司 。

电子级三（二甲氨基）环戊二烯基锆

标准的技术内容包括：一般要求、设计、材料、外观、结构完整性、化学性能、物理性能、环境性能和特殊性能要求等，以及质量保证要求、交货要求等。 本项目的适用范围为：电子级三（二甲氨基）环戊二烯基锆（以下简称TDMACpZr）产品的技术要求、质量保证和交货准备等规定；适用于CVD沉积工艺所用的硅基前驱体。

电子信息产业质量基础设施体系建设、发展分析及重要标准和可靠性突破；14nm先进制程高纯前驱体材料的开发和产业化