国家标准项目《锗抛光片》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 安徽光智科技有限公司 、广东先导稀材股份有限公司 、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司 、云南驰宏国际锗业有限公司 。
| 29 电气工程 |
| 29.045 半导体材料 |
本文件规定了锗抛光片的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容; 本文件适用于制备红外光学器件及光电探测器和半导体等器件中的基底材料锗抛光片的生产、检验与质量评价。