国家标准计划《半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范》由 SWG28（全国磁悬浮动力技术基础与应用标准化工作组）归口 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 苏州苏磁智能科技有限公司 、北京北方华创微电子装备有限公司 、华海清科（北京）科技有限公司 、浙江启尔机电技术有限公司 、苏州智程半导体科技股份有限公司 、宁波积硅电子材料有限公司 、世源科技工程有限公司 、浙江大学 、中国科学院上海应用物理研究所 、苏州大学 、东南大学 、天瑞磁浮智能制造（山东）有限公司 、湖南凌翔磁浮科技有限责任公司 、重庆凯磁医疗技术有限公司 、槃实科技（深圳）有限公司 、浙江高旋动力装备有限公司 、上海市计量测试技术研究院有限公司 、山东磁悬浮产业技术研究院有限公司 、兰州理工大学 、兰州兰泵有限公司 、杭州浙富核电设备有限公司 、上海多宁生物科技股份有限公司 。

主要起草人 尹成科 、段新颖 、许璐 、徐俊成 、方泽华 、华斌 、唐步高 、郑圣弘 、胡亮 、戴志敏 、孙立宁 、吴鹏 、李致宇 、周文武 、郑士杰 、崔庆文 、祝长生 、常燕 、尤志强 、王献忠 、张人会 、马柏青 、吴鹏 、顾红峰 、赵宏宇 、海弘毅 、李志军 、张健宇 、王勇 。