国家标准计划《集成电路封装设备远程运维 故障诊断与预测性维护》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中国电子科技集团公司第二研究所 、中国电子科技集团公司第十四研究所 、中国电子科技集团公司第三十八研究所 、南京固体器件有限公司 、东南大学 、西安电子科技大学 、青岛凯瑞电子有限公司 、机械工业仪器仪表综合技术经济研究所 。
20250709-T-469 正在起草