国家标准计划《量子精密测量用超高反射率光学薄膜性能表征及测量方法》由 TC578（全国量子计算与测量标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 合肥国家实验室 、中国计量科学研究院 、中国科学院大连化学物理研究所 、同济大学 、中国科学院上海光学精密机械研究所 、清华大学 。

《量子精密测量用超高反射率光学薄膜性能表征及测量方法》适用于各种按一定结构排列，在特定波长具有99.999%以上反射率的由介质薄膜、晶体薄膜或两者的混合薄膜构成的光学薄膜的性能表征及测量。

量子精密测量用超高反射率光学薄膜是一种能够以极高反射率（99.999%以上）反射特定波段的光的薄膜，通常基于分布式布拉格反射镜原理制备在一定的光学基底上。

量子精密测量用超高反射率光学薄膜是各种世界上最精密的测量系统，例如高稳定度光学原子钟、原子分子痕量分析、激光干涉引力波探测、激光陀螺仪等所必须的核心器件，关切到精确授时、计量标准、前沿物理和国防军工等重要领域。

量子精密测量用超高反射率光学薄膜的制备技术目前已经比较成熟，涉及的超精细基底抛光、反应磁控溅射镀膜、离子束镀膜等技术应用广泛。

同时，用于测试量子精密测量用超高反射率光学薄膜的光腔衰荡法、光热成像法、分光光度测量等技术也已相当成熟，极大地提升了量子精密测量用超高反射率光学薄膜的性能和可靠性。

但是量子精密测量用超高反射率光学薄膜相关的国际标准、国家标准、行业标准均未发布，不同用户在对量子精密测量用超高反射率光学薄膜进行相关性能表征和测量时，没有统一的测试项目和测试方法，导致测试结果参差不齐，宣称的“量子精密测量用超高反射率光学薄膜”产品性能良莠不齐，严重掣肘了产业发展整体进程。

为规避没有标准规范带来的无序发展与恶性竞争，保障行业健康发展，有必要开展《量子精密测量用超高反射率光学薄膜性能表征及测量方法》标准的研制，规范和统一该器件的相关参数测试方法，也会为行业带来以下效益： 1.推动利益相关方达成共识：量子精密测量用超高反射率光学薄膜的相关性能，直接关系到其在精密测量领域的应用效果，该标准的研制，将规范该器件测试与评估其参数的具体方法，有利于精密测量领域不同实验室、企业或组织之间遵循标准程序进行测试，让标准用户对测试项、测试结果达成共识，更有利于不同的利益相关者之间相互协作，提高产品及系统兼容性、稳定性、可靠性。

2.推动科研、产业发展：研发新型、高性能的超高反射率光学薄膜需要全面掌握其性能参数，该标准为器件设计和研制提供了指导和参考，有利于推动其技术创新、规范，也有助于促进下游精密测量领域的进步。

同时，本标准的研制将充分基于本领域国际先进的技术和理念，具有较强的前瞻性和可操作性，能够有效指导量子精密测量用超高反射率光学薄膜相关参数的测试工作，国际尚无标准化组织开展本标准的制定，本标准研制完成后将为本领域国际标准技术规范提供参考。

本文件描述了表征量子精密测量用超高反射率光学薄膜性能的参数和测量方法。 本文件适用于按分布式布拉格反射镜原理周期排列或其他类似结构排列，在特定波长具有99.999%以上反射率的由介质薄膜、晶体薄膜或两者的混合薄膜构成的光学薄膜的性能表征及测量。

十四五国家重大科学基础设施“空地一体量子精密测量实验设施”