国家标准计划《半导体芯片化学机械抛光垫修整用金刚石盘》由 TC139（全国磨料磨具标准化技术委员会）归口，TC139SC3（全国磨料磨具标准化技术委员会超硬材料及制品分会）执行 ，主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 江苏三晶半导体材料有限公司等 。
20250180-T-604 正在起草
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