国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 扫描镜》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 西安知微传感技术有限公司 、西北工业大学 、中机生产力促进中心 、深圳市速腾聚创科技有限公司 、中国科学院微电子研究所 、北京晨晶电子有限公司 、中国兵器工业第二一四研究所 、工业和信息化部电子第五研究所 、芯联集成电路制造股份有限公司 、中科院上海微系统与信息技术研究所 、上海麦锴科技有限公司等 。

微机电（MEMS）器件尺寸小，重量轻，功耗小、响应快，且可利用半导体工艺实现一致性很好的大批量生产，便于系统集成，能大幅降低成本，缩小系统体积。

MEMS扫描镜作为一种光操纵元件，具有极大的应用前景和巨大的市场潜力，广泛应用于投影显示，条码读取、医学成像，三维建模、共聚焦显微镜等领域。

近十年随着人工智能、自动驾驶、5G及云时代对大带宽低时延的全光网络的需求，MEMS扫描镜又在结构光扫描、激光雷达、机器视觉、光通迅、AR/VR等新兴领域崭露头角。

但MEMS扫描镜作为一种融合了微机械、微电子、微光学三学科的新兴技术，其机理很大程度上与传统的基于电机带动的振镜也不相同，导致不同背景的学者或技术人员对MEMS扫描镜的同一指标往往会有不同的理解，极大阻碍了MEMS扫描镜设计者与其应用者之间的交流。

MEMS扫描镜结构设计和工艺复杂，挑战大，定制化需求比例高，市场需求端和产品开发端无统一全面的项目指标作为纽带，导致需求与供应未能深度快速匹配对接，限制了行业和技术发展。

本文件把MEMS扫描镜的相关术语与定义、指标其及测试方法、MEMS扫描镜的基本特征进行标准化定义，明确MEMS扫描镜的各指标内涵，以把MEMS扫描镜的指标和应用层面上的指标对应起来，方便MEMS扫描镜供应厂商与MEMS扫描镜应用厂商的技术交流，以加快MEMS扫描镜及其应用的产业化发展。

范围：本标准规定了MEMS扫描镜的相关术语和定义、分类、指标、测试方法及MEMS扫描镜的基本特征，适用于MEMS扫描镜的研究、开发、测试和应用；包括基于镜面倾斜扭转的连续扫描和矢量扫描型MEMS扫描镜，但不包括数字微镜器件（DMD）和沿镜面法向运动的平动型的MEMS扫描镜。 主要技术内容：规定了MEMS扫描镜、镜面、固定框架、弹性梁等13个术语和定义，并明确了分类，给出了扫描角、机械半角、幅频响应、反射率等24个指标的定义及测试方法；并指明了MEMS扫描镜封装形式、MEMS扫描镜正常存储和工作条件、MEMS扫描镜基础参数等基本特征。