国家标准项目《表面化学分析 原子力显微术 原子力显微镜有限探针尺寸引起的展宽图像复原方法指南》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中国计量科学研究院 、上海市计量测试技术研究院 、上海交通大学 、吉林大学 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 23729:2022。

采标中文名称:表面化学分析 原子力显微术 原子力显微镜有限探针尺寸引起的展宽图像复原方法指南。

标准描述了一种定量表征原子力显微镜（AFM）探针的探针尖端的方法，以及通过有限的探针尺寸放大的AFM形貌图像的修复。利用合适的参考材料进行图像重建，来提取探针尖点的三维形状。标准适用于固体材料表面的AFM形貌图像的重建。 1、根据方法的技术内容、应用的范围、特点等，标准界定了AFM与本技术方法相关的术语，包括膨胀、腐蚀等数学形态学术语；探针、探针表征物、探针形状函数与重构等方法中的重要定义。 2、通过数学形态建模，明确AFM探针形状、实测AFM图像和真是表面形态函数模型。 3、描述了AFM型形貌图像的修复程序，首先获得分散在平面基底上的具有给定形状 的参考纳米结构的AFM形貌图像。然后，通过数值计算确定AFM探头顶点的探针形状函数。随后，通过使用探针形状函数进行腐蚀操作，从观测到的未知实际样品的AFM形貌图像中提取出最可能的表面形貌。过程中规范了测量系统的校准、测量环境的要求、所使用的探针表征物。 4、在附录中，具体描绘了试用探针形状函数修复扩大的AFM图像的一般流程。举例了用于探针表征的标准物质形式和规格。对实验室间比对结果进行描述和分析，得到通过盲重建（BR）和高分辨率FE-SEM成像评估AFM探针曲率半径的实验室间比较结果。