国家标准计划《洁净室及相关受控环境 干式洁净室技术要求》由 TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子工程设计院股份有限公司等 。

洁净室广泛应用于电子工业、医药工业、食品工业、航空航天工业、精密仪器材料等领域。

维持在一定的低相对湿度且不能对洁净环境产生不利影响的洁净室被业界称为干式洁净室。

随着微电子、制药、食品工业、航空航天等行业的高速发展，干式洁净室合理的设计和建造，稳定的运行和维护越来越引起行业关注。

比如：在锂电池生产、制药工业中的粉剂制品、发泡剂、腺提炼剂、肝提炼剂、食品行业浓缩糖蜜、咖啡粉生产及包装等场所，以上这些场所要求相对湿度不大于30%的洁净环境。

干式洁净室是一种特殊的洁净室，满足低相对湿度的环境是以洁净环境为前提的，如果不综合考虑除湿和净化的关系，空调系统的送风量、回风量、送回风口会设计不当，系统可能会严重影响气流组织和洁净度等级，因此需要有标准对于此类洁净室空调系统的湿负荷计算、空调系统的选型等进行规定，对影响洁净室内相对湿度超标的因素进行控制，对空调机组形式、洁净室气流组织进行技术要求。

干式洁净室的低相对湿度特性对洁净室产生的影响如果不进行技术要求，会产生严重的负面影响： 1、低相对湿度会加剧洁净室内静电的危害，气流的流动会使带有静电的物体吸附更多的微粒，洁净室内的设备、工具和人员的衣物等都可能因为静电吸附灰尘等微小颗粒，从而降低洁净室的洁净度等级，静电吸附导致的微粒增加可能会造成芯片短路、性能下降等严重后果，还会使精密设备、仪器、仪表的使用性能下降。

2、洁净室内采用的密封材料、涂料如果不进行规定，材料选用不当的话，这些材料可能会尘化影响洁净室的洁净度等级。

3、洁净室内的润滑材料如果不进行规定，材料选用不当的话，这些材料可能会干涸产尘影响洁净室的洁净度等级。

4、洁净室内工作人员的舒适性下降，如果不对人员工作时长进行规定，工作人员的健康可能会受到影响。

此外，干式洁净室对于正压计算的方式如果采用换气次数法进行计算，会造成新风量偏大、除湿能力偏大，系统运行能能耗高的问题。

有的洁净室及相关受控环境系列标准中，洁净室内的相对湿度为30%~70%之间，这个相对湿度区间的环境人的舒适性度高，是多数精密设备、仪器仪表正常工作的环境，也是多数密封材料、涂料、润滑剂的性能稳定的环境，但是，相对湿度小于等于30%的洁净环境下以上所述的内容就不适用，如果不进行技术规定，可能会造成严重的影响和危害，因此目前亟需一个文件对这一类的洁净室进行定义并提出相关的技术要求。

本文件规定了干式洁净室及相关受控环境中位置选择、布局、围护结构、净化除湿空调、静电消除、人员、物料、消防、仪器仪表、密封材料、涂料、润滑剂等的技术要求。