国家标准计划《洁净室及相关受控环境 干式洁净室技术要求》由 TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中国电子工程设计院股份有限公司等 。
本文件规定了干式洁净室及相关受控环境中位置选择、布局、围护结构、净化除湿空调、静电消除、人员、物料、消防、仪器仪表、密封材料、涂料、润滑剂等的技术要求。
全国标准信息公共服务平台
