国家标准计划《高纯氨水》由 TC63（全国化学标准化技术委员会）归口，TC63SC1（全国化学标准化技术委员会无机化工分会）执行 ，主管部门为中国石油和化学工业联合会。

主要起草单位 中巨芯科技股份有限公司 、多氟多新材料股份有限公司 、湖北兴福电子材料有限公司 、浙江凯圣氟化学有限公司 、中巨芯（湖北）科技有限公司 、中海油天津化工研究设计院有限公司等 。

高纯氨水主要应用于太阳能光伏电池、印刷电路板、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业，为产业链关键化学原材料。

项目符合《2024年国家标准立项指南》中提出的“围绕产业稳链加大关键标准研制。

推动标准化与科技创新互动发展，加快产业链关键环节、关键领域、关键产品的技术攻关和标准研制，确保产业链标准协调配套、有效衔接，提升产业链供应链韧性和安全水平”以及《关于“十四五”推动石化化工行业高质量发展的指导意见》中“（三）实施“三品”行动，提升化工产品供给质量”的有关要求，也符合国家高质量发展以及保障基础原材料供应链安全的要求。

随着我国信息技术的快速发展以及国家政策的大力支持，逻辑、存储、功率芯片的需求量迅速扩大，高纯氨水作为碱性清洗剂主要用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的清洗，还作为高纯氟化铵溶液的主要生产原料，是半导体生产中不可或缺的大宗基础高纯化学品，它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有十分重要的影响。

近年来随着制程节点的不断推进，需求量与日俱增，对品质要求也愈发严苛。

集成电路行业对高纯氨水的技术指标和试验方法提出了非常严格的要求，各企业依据客户要求组织生产，未通过标准化控制产品基础技术要求。

目前国产高端产品的质量水平已与国际持平，部分产品可以做到国产替代。

因此急需建立与行业适应的质量标准控制产品质量，使产品更有效地满足国内外客户和市场的高标准需求。

制定该国家标准对我国高端领域产品质量的全面控制与提升，以及电子化学品高端价值链的实现起到事半功倍的推动作用。

在高纯氨水生产技术自主化的前提下，本标准的制定可以促进与国际技术标准接轨，有利于提高产品在国际市场的竞争力。

同时能有效解决国内生产企业因缺标造成的发展受限问题，促使下游半导体行业逐步实现原料国产自主化替代，有效改善我国市场过渡依赖进口的局面，为我国逐步构建完善“芯”“屏”全产业链布局提供重要的技术支撑 。

高纯氨水在发达国家市场成熟度较高，产销量都处在较高规模。

国内高纯氨水生产企业主要集中在华东、华南以及华北东北的沿海地区，产业链区域集中度相对较高。

近年来随着国内外市场需求量不断攀升，我国高纯氨水生产规模也随之扩大，目前国内生产高纯氨水的主要有中巨芯科技股份有限公司、多氟多新材料股份有限公司、深圳新宙邦科技股份有限公司、湖北兴福电子材料有限公司、浙江凯圣氟化学有限公司、中巨芯（湖北）科技有限公司、晶瑞（湖北）微电子材料有限公司、江化微（镇江）电子材料有限公司、浙江建业微电子材料有限公司等20余家高新技术企业，合计总产能约18万t/a。

本标准规定了高纯氨水的技术要求、试验方法、检验规则、标志及随行文件、包装、运输、贮存。 本标准适用于高纯氨水。 本标准为推荐性。 本标准主要技术内容包括指标要求和分析方法，技术指标包括外观、氨含量、色度、灼烧残渣、还原高锰酸钾物质、碳酸盐、硫酸盐、氯化物、硝酸盐、磷酸盐共10项，以及铝、锑、砷等34项杂质元素含量。分析方法根据指标要求进行设置，常规检测方法和自动电位滴定仪、离子色谱仪、电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）等高端分析仪器配合使用。