国家标准项目《电子气体 锗烷》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 昊华气体有限公司西南分公司 、广东华特气体有限公司 、福建博纯材料有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、空气化工产品（中国）投资有限公司等 。
| 71 化工技术 |
| 71.100 化工产品 |
| 71.100.20 工业气体 |
| 编号 | 语种 | 翻译承担单位 | 国内外需求情况 |
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| 1 | EN | 昊华气体有限公司西南分公司 | 锗烷是制造高纯锗和各种硅锗合金的重要原材料，主要用于半导体,光伏太阳能和集成电路行业。比如，在金属有机物化学气相沉积工艺中，锗烷常和硅烷，通过特气系统的输送，作为气体原材料，生成硅-锗薄膜。在半导体集成电路电子器件制造中，锗烷作为硅-锗膜的前驱气体，参与制造。如在异质结二极晶体管中，薄硅锗层作为二极晶体管的基底生长在硅片上，与传统的硅二极晶体管相比，硅-锗异质结二极晶体管在速度、响应频率和增益上具有明显的优势，其速度和频率响应可以与更昂贵的镓-砷异质结二极晶体管相比。全球电子锗烷市场报告显示，预计2029年全球电子锗烷市场规模将达到3.8亿美元，未来几年年复合增长率为11.6%。近年来，随着大规模集成电路技术的进步，市场对电子气体的纯度和质量提出了越来越高的要求。在此背景下，为提升电子特气科技水平发展，现申请立项制定《电子气体 锗烷》国家标准英文版。 |
本文件规定了电子级锗烷的的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、标签、随行文件、包装、充装、运输、贮存要求，描述了电子气体锗烷的试验方法，提供了电子气体锗烷的安全信息。 本文件适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。 修订的内容如下： ——更改了范围； ——增加了组批规则； ——增加了采样规定； ——更改了锗烷纯度的计算方法； ——更改了锗烷的检验规则； ——增加了标签要求； ——增加了随行文件要求； ——更改了包装、充装、运输、贮存的规定； ——增加了关于锗烷的安全信息。
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