国家标准项目《电子气体 八氟丙烷》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 昊华气体有限公司西南分公司 、福建德尔科技股份有限公司 、江苏雅克科技股份有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、空气化工产品（中国）投资有限公司等 。
| 71 化工技术 |
| 71.100 化工产品 |
| 71.100.20 工业气体 |
| 编号 | 语种 | 翻译承担单位 | 国内外需求情况 |
|---|---|---|---|
| 1 | EN | 昊华气体有限公司西南分公司 | 八氟丙烷是一种在半导体行业中广泛应用的气体，因为它具有高度的选择性，所以它能够用作等离子蚀刻材料,能够有选择地与硅片的金属基质发生作用。由于这种特殊性质，电子级八氟丙烷是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀；同时电子级八氟丙烷是一种理想的清洗剂，在半导体制造过程中,八氟丙烷与氧气的混合气可以有效地去除半导体表面的残留物和污染物,提高半导体产品的质量和可靠性。近年来，随着大规模集成电路技术的进步，市场对电子气体的纯度和质量提出了越来越高的要求。在此背景下，为提升电子特气科技水平发展，现申请立项制定《电子气体 八氟丙烷》国家标准英文版。 |
本文件规定了电子级八氟丙烷的的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、标签、随行文件、包装、充装、运输、贮存要求，描述了电子气体八氟丙烷的试验方法，提供了电子气体八氟丙烷的安全信息。 本文件适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备，并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷，以及碳和氟直接反应合成的八氟丙烷。 修订的内容如下： ——更改了范围； ——增加了组批规则； ——增加了采样规定； ——更改了八氟丙烷纯度的计算方法； ——更改了八氟丙烷的检验规则； ——增加了标签要求； ——增加了随行文件要求； ——更改了包装、充装、运输、贮存的规定； ——增加了关于八氟丙烷的安全信息。
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