国家标准计划《真空技术 真空泵性能测量标准方法 第6部分：低温真空泵》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 北京卫星环境工程研究所 、东北大学 、沈阳真空技术研究所有限公司 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 21360-6:2023。

采标中文名称:真空技术 真空泵性能测量标准方法 第6部分：低温真空泵。

低温真空泵是洁净、高效、稳定、性能优越的真空泵，由于其抽速大、极限真空度高、工作端无运动部件、性能稳定等众多优点，在真空镀膜、芯片制造、检测医疗设备、生命科学、聚变发电、电子半导体等国家重点发展领域得到广泛应用，是为我国载人航天、深空探测、高能物理研究等重大专项提供洁净高真空环境必不可少的配套设备，其性能十分关键。

尤其是在航空航天、核工业、真空镀膜、半导体这类高科技行业应用场景中，这些行业尖端技术密集，对低温泵的性能要求高、需要的型谱多。

国内低温真空泵研制及测试技术起步较晚，各行业用中小口径低温真空泵产品几乎被进口产品所垄断，近年来，大口径低温真空泵对我国实施禁运。

随着国内科技快速发展，对各种低温真空泵需求激增，国产低温泵才逐步问市并快速应用到各行业，技术水平也日趋成熟。

目前，国内已实现全部部件的国产化并形成系列产品型谱，具备不同口径低温真空泵性能测试能力，其大口径低温真空泵产品亦打破了国际垄断局面。

同时，国内低温真空泵需求不断增加，应用行业越来越多，各生产企业在检测标准上存在不同程度的差异，有些企业只关注产品是否具有抽气能力，而对抽速、极限真空、渡越容量、抽气种类和抽气量等指标的具体测试要求和技术规定研究不够，导致供应商和需求方之间在产品性能指标上出现理解分歧，影响选型及使用，同时低温泵产品的质量也良莠不齐，判定依据不同。

本标准等同转化ISO 21360-6：2023，该国际标准为中国牵头制定。

一方面填补了国内标准在低温真空泵方向的空白，进一步完善了真空泵标准体系，满足市场和用户等方面的需求；另一方面通过标准的实施，有效规范低温真空泵性能测试方法及测试程序，增加测试不确定度评定及要求，有助于提高低温真空泵性能测试可靠性，统一各项指标的判据标准，为我国低温真空泵的设计、制造、验收、检测和使用提供指导和规范，亦为其推广应用提供有效的技术支撑和科学合理的测试比对方法，有利于推动低温真空泵的技术提升和性能优化。

本标准规定了低温真空泵性能参数的测试方法实施的适用范围、术语定义、测试装置、测试方法（含抽速的测量、抽气容量的测量、渡越容量的测试、基础压力的测试、最大流量的测量、降温时间的测试等）及测试程序、测量不确定度、测试报告等相关内容。 适用于能直接通过法兰连接到真空室的两级气氦闭循环低温真空泵。