国家标准项目《真空技术 真空泵性能测量标准方法 第6部分：低温真空泵》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 北京卫星环境工程研究所 、东北大学 、沈阳真空技术研究所有限公司 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 21360-6:2023。

采标中文名称:真空技术 真空泵性能测量标准方法 第6部分：低温真空泵。

本标准规定了低温真空泵性能参数的测试方法实施的适用范围、术语定义、测试装置、测试方法（含抽速的测量、抽气容量的测量、渡越容量的测试、基础压力的测试、最大流量的测量、降温时间的测试等）及测试程序、测量不确定度、测试报告等相关内容。 适用于能直接通过法兰连接到真空室的两级气氦闭循环低温真空泵。