国家标准计划《真空技术 真空泵性能测量标准方法 第5部分:非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 浙江博亚精密机械有限公司 、沈阳真空技术研究所有限公司 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 21360-5:2023。

采标中文名称:真空技术 真空泵性能测量标准方法 第5部分:非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵。

非蒸散型吸气剂(以下简称NEG)真空泵是一种全新概念的高真空泵,它完全摆脱了真空泵传统机械构型, 而是基于化学吸附和吸收原理，以合金充当吸气剂与活性气体结合, 从而获得和维持系统的真空度。

由于它不需蒸发或升华，除激活外，没有热源，形状灵活多变，且具有对活性气体抽速大、清洁无油、无活动部件、无振动、室温抽气等一系列优点, 使其应用领域大大拓宽，近年来已在光源、高能粒子加速器、电子器件、空间科学等领域得到广泛应用。

同时，NEG 真空泵在真空计量领域中的初步应用已取得了创新性成果，例如利用NEG 真空泵获得了10-10Pa的极高真空，将真空校准下限延伸至10-10Pa量级,将静态膨胀法真空标准的校准下限延伸至10-7Pa 量级等。

通过分析, 利用NEG 真空泵有望将固定流导法气体微流量标准的测量下限延伸至10-13Pa.m3/s及以下量级。

因此，NEG 真空泵在真空计量领域中的应用会越来越广泛。

本标准等同采用ISO 21360-5：2023，描述了NEG真空泵抽速、吸附量和黏着几率的测量方法。

一方面填补了国内标准在NEG真空泵方向的空白，满足市场和用户等方面的需求；另一方面通过标准的实施，为我国NEG真空泵的设计、制造、验收、检测和使用提供指导和规范，亦为其推广应用提供有效的技术支撑和科学合理的测试比对方法，有利于推动涡轮分子泵的技术提升和性能优化。

本文件适用于所有尺寸和类型的NEG真空泵，分别从小型NEG试样的流量法、NEG薄膜传输法等方面描述了NEG真空泵抽气性能（抽速、吸附量和黏着几率）的测量方法，规定了检测报告内容。GB/T 40344.1给出了真空泵性能数据测量的总体要求，本文件是对真空泵标准体系的一个补充。