国家标准项目《氮化铝单晶复合衬底》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 松山湖材料实验室 、北京大学东莞光电研究院 、北京大学 、广东中图半导体科技股份有限公司 。

本文件规定了氮化铝单晶复合衬底的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件等内容。产品按衬底尺寸分为 2、4、6、8英寸氮化铝单晶复合衬底，按照晶向分为c向与其他特殊晶向氮化铝单晶复合衬底，其主要技术要求包括复合衬底的直径、氮化铝区域厚度、蓝宝石衬底厚度、表面粗糙度、氮化铝(002)与(102)晶面的X射线衍射摇摆曲线半高宽、残余应力状态等。 本文件适用于氮化铝单晶复合衬底的研发、生产制备、测试分析及质量评价。