国家标准计划《光学和光子学 i线玻璃》由 TC103（全国光学和光子学标准化技术委员会）归口，TC103SC5（全国光学和光子学标准化技术委员会光学材料和元件分会）执行 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 成都光明光电股份有限公司 、成都光明光电有限责任公司 、上海微电子装备（集团）股份有限公司 、中国兵器工业标准化研究所 。

i线玻璃是指在近紫外区域具有高透过和高均匀性的特种光学材料，该类材料具有极高的耐辐照稳定性、高透过率、高光学均匀性、折射率和色散系数高一致性、高内在质量、低应力双折射等优异的性能，由i线玻璃所制作的光学元器件广泛应用于i线光刻机、紫外激光加工和光通讯等光电领域。

在光刻领域，i线光刻机是先进封装、中低端芯片制造的核心设备，在国防及民用领域具有广泛的应用，i线玻璃是i线光刻机光学系统所用到的的核心光学材料之一，其应用涉及到光刻机的成像质量，分辨率，光学系统的稳定性等方面。

通过具有不同光学特性的i线玻璃的组合，能够制造高性能i线光刻机的照明系统和投影物镜系统，玻璃的性能指标水平直接决定了i线光刻机的性能水平。

但i线玻璃产品质量指标要求高，生产难度大，产品主要依赖进口，i线玻璃成为国内发展i线光刻、紫外曝光、紫外耦合等半导体领域设备研制“卡脖子”的关键材料之一。

在半导体设备和高端光学材料国产化的大背景下，i线玻璃正面临前所未有的发展机遇，通过国内光学材料行业的不懈努力，目前已成功量产不同系列的i线玻璃牌号，由该类材料所制作的光学元器件已成功应用于i线光刻机、紫外激光加工等新型光电领域。

作为近些年新发展起来并得到广泛应用的新型高端光学材料， i线玻璃没有适用的产品标准，不利于产品的推广应用和质量提升，影响了产业的健康发展和半导体行业“卡脖子”光学材料的解决，因此急需制定作为行业发展基础的国家标准，规范i线玻璃的各项性能指标和检测方法，为i线玻璃产品的研发、生产和销售提供客观的评价手段，提升国家高端光学材料的核心竞争力，同时也为其他相关行业的高科技发展奠定良好的基础。

主要技术内容：本标准规定了i线玻璃材料的术语和定义，光学性能、耐辐照性、气泡度、条纹度等质量要求及对应的试验方法和检验规则等。 范围：本标准适用于i线玻璃，其它类似光学材料可参照使用。