国家标准项目《光学和光子学 i线玻璃》由 TC103（全国光学和光子学标准化技术委员会）归口，TC103SC5（全国光学和光子学标准化技术委员会光学材料和元件分会）执行 ，主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 成都光明光电股份有限公司 、成都光明光电有限责任公司 、上海微电子装备（集团）股份有限公司 、中国兵器工业标准化研究所 。
| 81 玻璃和陶瓷工业 |
| 81.040 玻璃 |
| 81.040.30 玻璃产品 |
| 编号 | 语种 | 翻译承担单位 | 国内外需求情况 |
|---|---|---|---|
| 1 | EN | 成都光明光电股份有限公司 | 国内标准： GB/T 903-2019《无色光学玻璃》，规定了常规光学玻璃的命名、分类、质量性能指标及分级要求等，i线玻璃属于特种光学玻璃，其光学常数、光学均匀性等质量指标要求高，超出了 GB/T 903-2019中的相关质量指标的分级要求，且i线玻璃需要具有优异的辐照稳定性和紫外波段的高内透射比，GB/T 903-2019中无对应的质量指标要求，满足不了i线玻璃生产及使用要求，而i线玻璃对半导体i线光刻机又具有至关重要的作用，因此需要制定i线玻璃的产品标准。 |
主要技术内容：本标准规定了i线玻璃材料的术语和定义，光学性能、耐辐照性、气泡度、条纹度等质量要求及对应的试验方法和检验规则等。 范围：本标准适用于i线玻璃，其它类似光学材料可参照使用。
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