国家标准计划《氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 新疆新特新能材料检测中心有限公司 、新疆晶硕新材料有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 、青海芯测科技有限公司 。