国家标准计划《蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 黄山博蓝特半导体科技有限公司 、广东中图半导体科技股份有限公司 、华灿光电股份有限公司 、福建晶安光电有限公司 。