国家标准计划《蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布即实施。
主要起草单位 广东中图半导体科技股份有限公司 、徐州美兴光电科技有限公司 、京东方华灿光电股份有限公司 、天通银厦新材料有限公司 、松山湖材料实验室 、南京同溧晶体材料研究院有限公司 。
主要起草人 张能 、米波 、肖桂明 、朱晶 、王子荣 、朱广敏 、康凯 、鲁雅荣 、王新强 、徐军 、袁冶 。
20240137-T-469 正在批准
| 77 冶金 |
| 77.040 金属材料试验 |