国家标准计划《洁净室及相关受控环境 微振动控制技术要求》由 TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子工程设计院股份有限公司 、中国标准化协会 。

洁净室是微电子、航空航天、精密制造、生物安全等行业必备的环境条件，旨在控制污染物在适当水平，以完成对污染敏感的生产、科研等活动。

随着科技的发展，洁净室环境对污染物种类的要求越来越高，微振动污染作为污染源之一，已成为洁净室环境质量的重要影响因素。

洁净室内部和外部振动会产生较大的微振动响应，可能影响洁净室的生产、实验、检测等活动，降低洁净室内精密设备的加工精度、检测精度，甚至影响精密设备的使用寿命。

微振动控制措施不当时，例如洁净室楼盖结构或高刚性基台上未按要求开气流孔，微振动控制的隔振装置制作产生的灰尘未及时清理等，将会影响洁净室的气流和洁净度。

近年来，产品的加工特征尺寸不断减小，检测精度不断提高，微振动污染越来越引起高度重视。

微振动是影响精密设备正常运行的振动幅值较低的环境振动，一般来说，有效频带0.5Hz～100Hz，振动速度≤50μm/s。

洁净室内部和外部振源较多，例如洁净室内部的风机过滤机组（FFU）、空调机组、冷水机组等动力设备振动；洁净室外部的道路交通及室外设备振动等。

洁净室内生产、科研工艺复杂、投资大，如果生产环境的微振动不能得到有效控制，可能产生较大的经济损失。

例如某集成电路厂房在竣工验收时，由于洁净室内部动力设备未隔振，引发了较大的微振动响应，导致洁净室的微振动控制不满足要求。

在运行条件下，只能购置昂贵的主动控制隔振装置补救，不仅增加了洁净室总体造价成本，还延误了产品生产。

再如中国科学院某所研制的真空环境模拟光学检测装置，由于洁净室外道路交通引起的微振动响应较大，光学检测装置无法达到预期检测精度，影响了重大研发工作进展。

国内尚无洁净室及相关受控环境微振动控制的相关标准。

目前微振动控制方法大多参考《电子工业防微振工程技术规范》GB 51076-2015，因其存在行业局限、缺乏对洁净室的微振动控制要求，导致洁净室的微振动控制效果参差不齐。

因此，亟需制订一部国家标准，针对洁净室提出微振动控制要求，将对洁净室微振动环境起到重要的保障作用。

标准提出洁净室及相关受控环境的微振动控制、微振动检测和监测等要求。标准适用于洁净室及相关受控环境的微振动控制。 主要技术内容包括：术语和定义、振源、危害及影响、微振动控制、微振动检测和监测等。