国家标准项目《洁净室及相关受控环境 微振动控制技术要求》由 TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中国电子工程设计院股份有限公司 、中国标准化协会 。
| 13 环保、保健和安全 |
| 13.040 空气质量 |
| 13.040.35 清洁室(无菌室)及相关受控环境 |
| 编号 | 语种 | 翻译承担单位 | 国内外需求情况 |
|---|---|---|---|
| 1 | EN | 中国电子工程设计院股份有限公司 | 填补了国内外该技术领域的空白。 |
标准提出洁净室及相关受控环境的微振动控制、微振动检测和监测等要求。标准适用于洁净室及相关受控环境的微振动控制。 主要技术内容包括:术语和定义、振源、危害及影响、微振动控制、微振动检测和监测等。