国家标准项目《纳米技术 原子力显微术测定 纳米薄膜厚度的方法》由 TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。
主要起草单位 上海交通大学 、纳米技术及应用国家工程研究中心 。
本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。
全国标准信息公共服务平台
