国家标准计划《纳米技术 原子力显微术测定 纳米薄膜厚度的方法》由 TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 上海交通大学 、纳米技术及应用国家工程研究中心 。

纳米薄膜是尺寸在纳米量级的颗粒（晶粒）构成的薄膜或者层厚在纳米量级的单层或多层薄膜。

纳米薄膜兼具传统复合材料和现代纳米材料的优越性，由于其超薄的尺寸和独特的物理与化学性质，在众多领域具体广泛的应用前景。

纳米薄膜的厚度是制约薄膜性能和应用的重要因素，如光学薄膜的厚度直接影响其透过率、反射率、相位差等，对其性能有关键性影响。

因此薄膜厚度的测定可以更好地理解和优化薄膜的制备过程，推动薄膜技术的发展。

本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。