国家标准计划《工业用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)塑料管道系统 第3部分:管件》由 TC48(全国塑料制品标准化技术委员会)归口,TC48SC3(全国塑料制品标准化技术委员会塑料管材、管件及阀门分会)执行 ,主管部门为中国轻工业联合会。
主要起草单位 瑞珊流体系统科技(南通)有限公司 、公元股份有限公司 、北京工商大学 。
| 83 橡胶和塑料工业 |
| 83.140 橡胶和塑料制品 |
| 83.140.30 塑料管、配件和阀门 |
本标准适用于太阳能光伏、半导体、医药行业中的超纯水或化学介质输送。
主要原材料为全氟丙基全氟乙烯基醚(PFA)。
PFA具有卓越的抗腐蚀性、耐热性、抗粘性,广泛应用于对生产过程中金属离子析出和洁净度要求较高的太阳能光伏、半导体、医药行业。
目前,国外对我国芯片及芯片制造过程中的产品采取限购政策,严重限制了我国电子行业的高速发展,因此我国自主研制芯片制造过程中产品的生产制造尤为重要。
芯片制造过程中单片/多片的酸洗、涂胶显影环节使用的塑料管材、接头和阀门对产品的金属离子析出和洁净度要求较高,PFA因其优越的耐腐蚀性和抗粘性,可满足芯片制造过程中对塑料管件的超低金属离子析出和超高的洁净度要求。
目前该产品国内外无相关标准,仅有一个SEMI F57认证标准对PFA管件的阴离子、金属离子和总有机碳的限值做了规定,未对产品的材料、物理力学性能做出相关规定。
不能满足产品生产、使用和消费的相关要求。
本标准的制定主要解决了国外工厂对我国芯片制造过程中的卡脖子产品的限购问题,该产品主要替代美国、日本在芯片制造过程中使用的塑料管道系统及部件的限购产品。
PFA塑料管道系统及部件是太阳能光伏、半导体、医药行业消费品升级的关键材料,本标准的制定对于规范PFA管件生产、提升产品质量、加快芯片制造行业的发展起到至关重要的作用,为升级太阳能光伏、半导体、医药产品质量保驾护航。
本标准适用于半导体制造过程中超纯水或者腐蚀性化学介质输送。最高连续使用温度260℃。 本标准主要规定了全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)塑料管道系统的术语和定义、符号、缩略语、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。