国家标准项目《微机电系统（MEMS）技术 玻璃浆料键合强度的微型V形试验（MCT）测量方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院空天信息创新研究院 、中机生产力促进中心有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-27:2017。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第27部分：玻璃浆料键合强度的微型V形试验(MCT)测量方法。

中间介质层玻璃浆料键合是微机电器件首选的互连技术之一，本标准规定了双层硅片采用微型V形试验的键合强度测量方法。本标准规定了试件的形状、测量装置、试验过程等要素，保证了与特殊特性相对应的精度。 主要技术内容包括：试验装置（包括试验装置的组成、执行机构、力传感器、安装、数据采集）、试件（包括试件的设计、尺寸、几何形状测量）、测试条件（包括位移速率、试件对准、环境条件）、分析评估（包括一般要求、有效性测试、计算方法、统计评估）、测试报告等内容。