国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 北京晨晶电子有限公司 、中机生产力促进中心有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-11:2013。

采标中文名称:半导体器件微机电系统第11部分：微机电系统中无需支撑物材料线性热膨胀系数试验方法。

微机电技术迅猛发展，基于微机电技术的产品已广泛应用于消费电子、汽车、工业、国防等领域，典型产品包括加速度计、陀螺仪、压力计、微振镜、滤波器等。

微机电系统含有的微机械结构具有尺寸小、精度高的特点，无需支撑物固体材料是其典型的结构材料，无需支撑物固体材料的热膨胀特性关系着微机电系统的灵敏度、可靠性等特性，需要对其开展测量。

本标准的目的是通过使用平面内法或平面外法，准确评估无需支撑物固体材料的线性热膨胀特性。

本标准的制定可面向微机电系统的结构加工、产品研制、产品应用、产品检验等单位开展应用，对微机电系统产品的推广应用具有重要作用。

无需支撑物固体材料（金属、陶瓷、聚合物等）是微机电系统（MEMS）产品的主要结构材料，本标准适用于长度为0.1μm至1μm、宽度为10μm至1mm，厚度在0.1μm至1mm之间的无需支撑物固体材料。该测试方法适用于在室温至材料熔化温度30 %的温度范围内的线性热膨胀系数测量。主要技术内容包括：试件（包括试件的形状、厚度、释放模式），测试设备（包括熔炉、温度传感器、记录仪），测试方法（包括平面内法、平面外法），测试条件(包括温度测量、平面内试件处理、热应变测量、加热速度要求），测试检测报告（包括参考本国际标准、试件的识别编号、位移测量设备、试件材料、试件的形状和尺寸、试件的制作方法及其细节、权重和感应应力值、温度测量方法及其精度、测量特性和结果）等内容。