国家标准项目《微机电系统（MEMS）技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心有限公司等 。
| 31 电子学 |
| 31.200 集成电路、微电子学 |
| 编号 | 语种 | 翻译承担单位 | 国内外需求情况 |
|---|---|---|---|
| 1 | EN | 北京大学 | MEMS电容式硅麦克风体积小、信噪比高、功耗小、成本低，采用与集成电路工艺兼容的硅微加工技术制成，适合集成和大规模量产，处理电路简单，可靠性高，抗干扰能力强，因此在消费类、工业、医疗、智慧城市等领域有广泛的应用前景，目前应用于可穿戴产品（智能手机、智能手表、耳机等）、智能音箱、电脑、自动驾驶等。近年来，MEMS 麦克风是 MEMS 市场中增速最快的细分市场之一。受益于下游应用领域的快速发展，MEMS 声学传感器成为了 MEMS 产品中市场份额较大、增速较快的细分市场之一。 |
本标准规定了MEMS电容式硅麦克风性能的试验条件和试验方法。试验方法包括：MEMS电容式硅麦克风中MEMS硅微电容传感器芯片性能的试验方法和MEMS麦克风性能的试验方法：包括输出阻抗、灵敏度、本底噪声、信噪比、动态范围、频率响应、极性、等效输入噪声、总谐波失真、电源抑制比、声压过载点。 本标准适用于MEMS电容式硅麦克风。
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