国家标准项目《微束分析 扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院地质与地球物理研究所 、核工业北京地质研究院 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 15632:2021。

采标中文名称:微束分析 扫描电镜(SEM)或电子探针(EPMA)用X射线能谱仪(EDS)主要性能参数及核查方法。

本文件规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X-射线能谱仪（EDS）特性最重要的量值。本文件适用于使用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。本文件规定了作为扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）辅件的能谱仪的最低要求。 2. 主要技术内容 2.1 术语和定义 2.2 要求 2.2.1 概述 生产商应以适当的参考文本描述能谱仪最主要的构成要素，以便能让用户评估仪器的性能。对评估能谱仪是否适合在相关领域应用所必需的部件应予详细说明，这些要素包括EDS探头晶体类型（Si-Li探头、HpDe探头、SDD探头等）、传感器厚度、有效探测面积和窗口类型（铍窗、薄窗或无窗），有些参数不包含在本标准内，但可能影响探测器的性能，如最大计数率、冷却系统的构造原理等，应在相关资料中加以说明。一些探测器有很高的计数率，但是也仅仅是高计数率而已，其他的性能如能量分辨率可能会改变，波谱会出现假象。因此，所有性能中应该有测量计数率的说明，而不是只假设该性能与其他的计数率相同。 2.2.2 能量分辨率 2.2.3 死时间 2.2.4 峰背比 2.2.5 能量与仪器检测效率相关性 2.3 参数检查 2.3.1 概述 能量分辨率、死时间、能量与仪器检测效率相关性等参数必须由生产商提供并由用户定期检验。用户还可以检验与性能有关的其他参数，特别是在高计数率条件下。 2.3.2 能量标尺和分辨率稳定性 2.3.3 堆积效应 2.3.4 能谱仪性能的定期核查 2.4 附录A（规范性）测定能谱议能量分辨率的峰半高宽（FWHM）值 2.5 附录B（规范性）能量与仪器检测效率相关性指标L/K比值的确定