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国家标准计划《蓝宝石单晶衬底抛光片》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 天通银厦新材料有限公司徐州凯成科技有限公司徐州美兴光电科技有限公司中国科学院上海光学精密机械研究所

目录

基础信息

计划号
20240142-T-469
制修订
修订
项目周期
16个月
下达日期
2024-03-25
申报日期
2023-08-31
公示开始日期
2024-01-22
公示截止日期
2024-02-21
标准类别
产品
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

目的意义

蓝宝石的应用领域主要涉及LED衬底材料、消费电子和军事等应用,其中,衬底为蓝宝石最主要的应用,占据了约80%的份额,消费电子行业占据约20%。

受益于LED行业和消费电子行业巨大需求,蓝宝石市场规模继续扩大。

2019年蓝宝石市场规模已达到54亿美元,预计2024年全球市场规模达到107亿美元,增长十分迅猛。

随着Mini/Micro-LED产业化进程加速,对蓝宝石衬底需求量也与日俱增,有报道对蓝宝石衬底需求量进行测算:每片4英寸芯片可量产1700万Micro-LED,约可供1台60英寸4K电视/3台手机(2K)/2台平板(2K)。

预计2025年芯片/衬底需求量达到3500万片。

LED芯片技术的发展及产品的快速迭代,也带动蓝宝石衬底向更大尺寸、更高品质方向发展,可有效减小外延片的边缘效应,提高芯片一致性,降低生产成本。

因此,6、8寸衬底片将是未来LED的主流衬底材料。

另外,Mini/Micro-LED 对波长均匀性和缺陷控制有更高的要求,对衬底材料的平坦度、表面微观缺陷以及洁净度等有提出更高的技术要求。

基于以上多方面的分析,GBT 30858-2014 蓝宝石单晶衬底抛光片中涉及到的相关技术指标及相关条款已无法满足目前市场对蓝宝石衬底片的技术要求,需亟待修订。

该标准的修订也将进一步规范、指导蓝宝石衬底片的生产,促进产业的进步和发展。

范围和主要技术内容

本标准适用于蓝宝石单晶衬底抛光片的化学组成、结晶质量(半峰宽、位错)、粗糙度(表面、背面)、几何尺寸、表面缺陷、颗粒度和外观质量的确定。 与原版本相比,修订后将更改适用范围、杂质含量、位错密度等技术内容