国家标准项目《蓝宝石单晶衬底抛光片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 天通银厦新材料有限公司 、徐州凯成科技有限公司 、徐州美兴光电科技有限公司 、中国科学院上海光学精密机械研究所 。

本标准适用于蓝宝石单晶衬底抛光片的化学组成、结晶质量（半峰宽、位错）、粗糙度（表面、背面）、几何尺寸、表面缺陷、颗粒度和外观质量的确定。 与原版本相比，修订后将更改适用范围、杂质含量、位错密度等技术内容