国家标准计划《三维集成电路 第3部分:硅通孔模型及测试方法》由 TC599(全国集成电路标准化技术委员会)归口 ,主管部门为工业和信息化部(电子)。
主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 、华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 、工业和信息化部电子第五研究所 。
| 31 电子学 |
| 31.200 集成电路、微电子学 |
本标准修改采用IEC国际标准:IEC 63011-3:2018。
采标中文名称:三维集成电路 第3部分:通孔模型及测试方法。
本标准规定了传输和接收数字数据的硅通孔(TSV)电气特性的参考模型,用于三维集成电路(3D IC)接口设计,以及3D IC中表征TSV特性的电阻和电容测试方法。 本标准修改采用IEC 63011-3:2018,该标准中电阻测试、电容测试内容相对简单,作为标准不能有效指导TSV模型的测试,拟细化电阻测试、电容测试,补充测试条件、测试程序。