国家标准计划《蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 黄山博蓝特半导体科技有限公司 、广东中图半导体科技股份有限公司 、华灿光电股份有限公司 、福建晶安光电有限公司 。

本标准提供了一种测量PSS上选定位置图形的尺寸、高度、间距、角度、弧边距以及表面反射率等参数的方法，主要应用于50.8mm、100mm、150mm三种尺寸的PSS表面图形几何参数的测量，其中PSS图形几何参数的测量仅限于单个图形以及图形阵列的特征测量。 方法原理：本测试方法使用原子力显微镜（AFM）,扫描电子显微镜 （SEM）和晶圆自动光学检测设备对不同尺寸的PSS进行测量。为保证测试结果的可靠性与可重复操作性，本测试标准针对不同尺寸的PSS（50.8mm、100mm、150mm）的测量点的数量，测量点间距等参数都给出了详细的规范与图示，并规定了晶圆有效区域面积计算，图形细节检测、特征角度计算、晶圆反射率测量的详细测量标准与计算公式，引入Gage R&R与KAPPA量测系统分析体系，对分析测量系统以及测量公差进行分析与管理，最终以PSS表面图形几何参数的标准报告模板输出数据，确保测试数据详尽有效。