国家标准计划《氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 新疆新特新能材料检测中心有限公司 、新疆晶硕新材料有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 、青海芯测科技有限公司 。

本文件规定了氮化硅粉体中铁、钙、铝含量的测定方法。 本文件适用于氮化硅粉体中铁、钙、铝的测定，测试范围为0.001 μg/g～4.00 mg/g。本标准方法原理：氮化硅粉体样品用氢氟酸、硝酸消解后，在电热板上加热除去硅、氟等，残渣用硝酸溶解。试样溶液引入电感耦合等离子体光谱仪，在选定的最佳测定条件下，测量试液中各元素的含量。